[发明专利]一种低温薄膜压力传感器及其生产方法

摘要

一种可用于低温介质压力测量的自补偿低温薄膜压力传感器，包括接管嘴、膜片、薄膜、转接座、壳体和插座，其中薄膜包括过渡层、绝缘层、应变电阻层、补偿电阻层和焊盘层；该传感器的生产方法包括：1)取膜片；2)在膜片上设置过渡层、绝缘层、应变电阻层、补偿电阻层和焊盘层；3)光刻形成焊盘、灵敏度温度补偿电阻、零点温度补偿电阻、应变电阻和零点补偿电阻；4)通过激光修正的方法对零点补偿电阻、零点温度补偿电阻和灵敏度温度补偿电阻进行电阻值修正；5)组装传感器。本发明解决了背景技术测量低温介质时误差大的技术问题，具有补偿精度高、生产效率高、可在线调整补偿电阻值的优点。

主权项

1、一种低温薄膜压力传感器，包括接管嘴(1)、膜片组件(2)、转接座(3)、壳体(4)和插座(5)，其中膜片组件(2)包括膜片(21)以及设置在膜片上的薄膜(22)；所述膜片组件(2)一端与接管嘴(1)固连，另一端与转接座(3)固连，接管嘴(1)和壳体(4)固连，膜片组件(2)及转接座(3)设置在壳体(4)内部，转接座(3)与插座(5)电连接，所述薄膜(22)由内到外包括过渡层(6)、绝缘层(7)、应变电阻层(8)和焊盘层(10)，其特征在于：所述薄膜(22)还包括设置在应变电阻层(8)和焊盘层(10)之间的补偿电阻层(9)。