[发明专利]双栅极晶体管无效
申请号: | 200610105606.7 | 申请日: | 2006-07-10 |
公开(公告)号: | CN1885563A | 公开(公告)日: | 2006-12-27 |
发明(设计)人: | 梁中瑜;甘丰源;张鼎张 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/423 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波;侯宇 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种双栅极晶体管,包括第一栅极,形成于基板上。第一介电层,覆盖于第一栅极与基板上。半导体层,位于第一介电层与第一栅极上方。第一电极与第二电极,分别形成于半导体层上,且第一电极与第二电极之间,具有间隔,用以分离两电极。第二介电层,覆盖于第一电极、第二电极与部份的半导体层。第二栅极,位于第二介电层上,其中第二栅极及第一栅极的其中之一并未与第二电极重叠。 | ||
搜索关键词: | 栅极 晶体管 | ||
【主权项】:
1.一种双栅极晶体管,包括:第一栅极,位于基板上;第一介电层,覆盖于该第一栅极与该基板上;半导体层,位于该第一介电层与该第一栅极上;第一电极与第二电极,分别位于该半导体层上,且该第二电极与该第一电极之间具有间隔,用以互相分离;第二介电层,覆盖于该第一电极、该第二电极、与部份半导体层;及第二栅极,位于该第二介电层上,其中该第二栅极及该第一栅极的其中之一并未与该第二电极重叠。
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