[发明专利]旋涂系统及用于其液体回收的方法有效
| 申请号： | 200610105630.0 | 申请日： | 2006-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN1887446A | 公开（公告）日： | 2007-01-03 |
| 发明（设计）人： | 陈志慧;颜瑞伯 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;B05C13/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 魏晓刚;李晓舒 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种旋涂系统，包括一旋涂机、一第一管线、一导出装置、一第一回收管线以及一检测装置。第一管线用以导入一第一液体至旋涂机。导出装置用以导出流经旋涂机的第一液体，其中导出装置具有一切换装置。第一回收管线连接至导出装置。检测装置设置在第一管线中，并电性连接至切换装置。其中，当第一液体流经于第一管线中时，检测装置传送信号至切换装置，使得来自于旋涂机中的第一液体，可经由导出装置，流入第一回收管线中。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 用于 液体 回收 方法 | ||
【主权项】：
1.一种旋涂系统，包括：一旋涂机；一第一管线，用以导入一第一液体至该旋涂机；一导出装置，用以导出流经该旋涂机的该第一液体，其中该导出装置具有一切换装置；一第一回收管线，连接至该导出装置；以及一检测装置，设置在该第一管线中，并电性连接至该切换装置，其中，当该第一液体流经于第一管线中时，该检测装置传送信号至该切换装置，使得来自于该旋涂机中的该第一液体，可经由该导出装置，流入该第一回收管线中。
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