[发明专利]离轴投影光学系统及使用该系统的超紫外线光刻装置有效
| 申请号： | 200610106080.4 | 申请日： | 2006-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN1881091A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | 张丞爀;宋利宪;朴永洙;金锡必;金勋 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种离轴投影光学系统，其包括离轴设置的第一和第二反射镜。第一反射镜弯曲部分的切向和径向半径分别为R1t和R1s。第二反射镜弯曲部分的切向和径向半径分别为R2t和R2s。从物点到第一反射镜10的光束入射角为i1，从第一反射镜10反射到第二反射镜30的光束入射角为i2。数值R1t、R1s、R2t、R2s、i1和i2可以满足下面的等式：R1tcosi1＝R2tcosi2，R1s＝R1tcos2i1，R2s＝R2tcos2i2。 | ||
| 搜索关键词： | 投影 光学系统 使用 系统 紫外线 光刻 装置 | ||
【主权项】：
1、一种离轴投影光学系统，包括：离轴设置的第一和第二反射镜，其中如果第一反射镜弯曲部分的切向和径向半径分别为R1t和R1s；第二反射镜弯曲部分的切向和径向半径分别为R2t和R2s；从物点到第一反射镜的光束入射角为i1；从第一反射镜反射到第二反射镜的光束入射角为i2，则满足下面的等式：R1t cosi1＝R2t cosi2 R1s＝R1t cos2i1 R2s＝R2t cos2i2
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