[发明专利]用于溅射过程的阴极管无效
| 申请号： | 200610106168.6 | 申请日： | 2006-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN1908226A | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 曼弗雷德·舒马赫;格哈德·乔斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 王景刚;王冉 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带靶滑架和靶的阴极管。这里的靶可以是单件或多件靶。在靶的滑架和靶之间沿靶滑架的纵轴线设置有多个由导热材料制成的环型件。环型件由窄圆环相互分开。靶的至少一个端面上具有斜面，这样使靶易于在分离的环型元件上滑动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 溅射 过程 阴极 | ||
【主权项】：
1、一种在溅射过程中使用的具有靶滑架和靶的阴极管，其中，具有良好导电和导热性能的层位于靶的滑架和靶之间，其特征在于，所述具有良好导热性的层沿着所述靶的滑架(18)的纵轴线被分为多个分离的层(19-24)，所述层被相互间隔开。
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