[发明专利]用于制造有机发光显示器的夹持器有效
| 申请号： | 200610106277.8 | 申请日： | 2006-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN1901155A | 公开（公告）日： | 2007-01-24 |
| 发明（设计）人： | 李奎成;宋官燮;康熙哲;金度根 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭鸿禧;刘奕晴 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种用于制造有机发光显示器的夹持器，包括夹持器主体和设置在夹持器主体的相对的侧面上的多个支撑体，其中，各支撑体具有“┓”形的形状，并包括具有预定高度的侧壁和从侧壁弯曲的支撑板。支撑板被形成为具有多个台阶部分，以支撑基底、膜托盘和掩模，以在传送基底、模托盘和掩膜的同时夹持基底、模托盘和掩模，并防止图案扭曲，从而同时在单个室中传送并加工基底、膜托盘和掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 有机 发光 显示器 夹持 | ||
【主权项】：
1、一种用于制造有机发光显示器的夹持器，所述夹持器包括：夹持器主体；多个支撑体，设置在所述夹持器主体的相对的侧面上，其中，各所述支撑体具有![]()
形的形状，并包括具有预定高度的侧壁和从所述侧壁弯曲并延伸的支撑板，所述支撑板具有用于支撑基底、膜托盘和掩模的多个台阶部分，用于在传送所述基底、所述模托盘和所述掩膜的同时夹持所述基底、所述膜托盘和所述掩模，并用于防止图案扭曲。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
