[发明专利]曝光方法有效
| 申请号： | 200610106374.7 | 申请日： | 2006-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN1896877A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | 辻田好一郎 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 许海兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供分辨力良好的曝光方法。所述曝光方法使用来自光源的光和光学系统、在被曝光体上曝光包含第一以及第二图形的标线片图形，其特征在于，具有取得与所述第一图形、和具有在所述第二图形中被使用的可能性的多种代表图形有关的信息的步骤；和对于所述第一图形以及所述多种代表图形，设定所述光源以及所述光学系统的至少一个的曝光参数、或者所述图形的大小或形状的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 方法 | ||
【主权项】：
1.一种曝光方法，所述方法使用来自光源的光和光学系统在被曝光体上曝光包含第一以及第二图形的标线片图形，其特征在于，具有：取得与所述第一图形、和有在所述第二图形中使用的可能性的多种代表图形有关的信息的步骤，和对于所述第一图形以及所述多种代表图形，设定所述光源以及所述光学系统的至少一个曝光参数、或者所述图形的大小或形状的步骤。
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