[发明专利]激光修补装置

摘要

在本发明的激光修补装置中，CCD照相机(11)拍摄作为被检查对象的玻璃基板(2)以生成图像信息。图像处理部(12)从图像信息生成缺陷判定信息，根据该缺陷判定信息，决定照射激光时的照射条件。修补用光源(14)根据从图像处理部(12)所输出的照射条件的信息，设定激光的能量等，出射用于修补玻璃基板(2)的缺陷部的激光(r)。DMD单元(16)对该激光进行整形。

主权项

1.一种激光修补装置，对被检查对象上的修正对象区域照射从激光光源所出射的激光，其特征在于，具有：摄像单元，其拍摄所述被检查对象以生成图像信息；图像处理单元，其从所述摄像单元所生成的所述图像信息，生成缺陷判定信息，根据所述缺陷判定信息，决定照射所述激光时的照射条件；激光整形单元，其根据所述图像处理单元所决定的所述照射条件，对所述激光进行整形；以及照射光学系统，其对所述修正对象区域照射整形后的所述激光。