[发明专利]基板处理装置及处理方法有效
| 申请号： | 200610107462.9 | 申请日： | 2006-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN1903683A | 公开（公告）日： | 2007-01-31 |
| 发明（设计）人： | 广濑治道;末吉秀树 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种基板处理装置，不仅减小设置空间，而且能够在相同场所进行基板的供给和送出。该基板处理装置具有：装置主体(1)；输送辊，设置在装置主体上，将基板以规定角度倾斜地输送；处理部(3)，对由输送辊输送的基板进行处理；上部输送部(4)，设置于装置主体的上部，将基板在水平状态下向与倾斜输送的输送方向相反的方向输送；倾斜交接单元(61)，设置在装置主体的至少一端，接受由上部输送部水平地输送的基板，使该基板下降的同时倾斜至规定角度，并交接给输送辊。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种基板处理装置，一边将基板以规定角度倾斜地输送，一边进行处理，其特征在于，包括：装置主体；倾斜输送机构，设置在该装置主体上，将上述基板以规定角度倾斜地输送；处理机构，对由该倾斜输送机构输送的基板进行处理；上部输送机构，设置于上述装置主体的上部，当供给上述基板时，以水平状态输送该基板；第一倾斜交接机构，设置在上述装置主体的一端，接受由上述上部输送机构水平地输送来的上述基板，使该基板下降的同时倾斜至规定角度，并交接给上述倾斜输送机构。
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