[发明专利]新的有机-金属前体材料和利用它制备金属薄膜的方法无效
申请号: | 200610107498.7 | 申请日: | 2006-07-25 |
公开(公告)号: | CN1935819A | 公开(公告)日: | 2007-03-28 |
发明(设计)人: | 李正贤;徐范锡 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | C07F15/00 | 分类号: | C07F15/00;C23C16/18;C23C16/448 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 张平元;赵仁临 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供一种能够容易分解而不与氧化剂反应的有机-金属前体材料,及利用该有机-金属前体材料制备金属薄膜的方法。所述有机-金属前体材料为具有孤对电子的有机分子,并具有配位共价键的结构,所述具有孤对电子的有机分子选自醚、胺、四氢呋喃(THF)、膦和亚磷酸酯。 | ||
搜索关键词: | 有机 金属 材料 利用 制备 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
1.一种有机-金属前体材料,其由下面化学式表示:<化学式>
式中M为钌Ru或铱Ir,Y为具有孤对电子的有机分子。
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