[发明专利]布线形成系统及其方法

摘要

本发明涉及一种布线形成系统及其方法，光学外观检查装置(13)，对布线图案形成后的印刷基板全部区域，采用线宽测定算法测定布线图案的线宽。而且，光学外观检查装置(13)，以区域(22)为单位制成线宽直方图。然后，光学外观检查装置(13)，在同一区域(22)中将制成的线宽直方图与掩模图像数据的线宽直方图进行比较，制成线宽分布。信息管理系统(14)基于采用规定数的印刷基板而制成的线宽分布的平均来制成校正数据。曝光装置(12)基于上述校正数据，对设计数据或曝光用的图像数据上的布线图案的线宽，以区域(22)为单位进行变粗、变细的校正。

主权项

1、一种布线形成方法，是对基板实施曝光处理而形成布线图案的印刷基板的布线形成方法，其特征在于，具有：曝光步骤，采用有关上述布线图案的设计数据或基于该设计数据的曝光用图像数据，直接对基板进行曝光，或者，采用基于上述设计数据或上述曝光用图像数据而制成的掩模，对基板进行曝光；线宽测定步骤，按照每个单位区域测定经过上述曝光步骤的曝光处理而最终形成了布线图案的印刷基板的布线图案的线宽；线宽校正数据制成步骤，通过按上述每个单位区域对上述线宽测定步骤中测定的线宽、与上述设计数据或上述曝光用图像数据的线宽进行比较，从而制成上述每个单位区域的线宽校正数据；线宽校正步骤，采用上述线宽校正数据，对上述曝光步骤中使用的上述设计数据或上述曝光用图像数据进行校正。