[发明专利]静电激励器及其制造方法、液滴喷头及其驱动方法无效
| 申请号： | 200610107671.3 | 申请日： | 2006-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN1907710A | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 杷野祥史;藤井正宽 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045;B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种以低电压驱动可得到大的振动板位移量的静电激励器。并且，提供具备该静电激励器的液滴喷头、液滴喷头的驱动方法以及静电激励器的制造方法。所述静电激励器具备：振动板(4)、与振动板(4)隔着间隙(10)对置且在与振动板(4)之间施加有电压的个别电极(11)、和在振动板(4)的与个别电极(11)的对置面形成的绝缘膜(4a)，绝缘膜(4a)被驻极体化。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 激励 及其 制造 方法 喷头 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种静电激励器，包括：振动板；电极，其与该振动板隔着间隙对置，且在其与该振动板之间施加有电压；和绝缘膜，其形成在所述振动板的与所述电极的对置面或者所述电极的与所述振动板的对置面，所述绝缘膜被驻极体化。
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