[发明专利]表面声波装置有效
申请号: | 200610107707.8 | 申请日: | 2006-07-20 |
公开(公告)号: | CN1901368A | 公开(公告)日: | 2007-01-24 |
发明(设计)人: | 木原芳一;小山内胜则;广川行夫;苏武正树 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25;H03H9/145 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张敬强 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种SAW装置,包括单晶压电基板(由例如LiTaO3或LiNbO3制成),和由主要包含Al的材料形成并位于压电基板上的交叉指状电极(IDT)。压电基板包含添加剂(例如,Fe、Mn、Cu、Ti),并具有绕X轴从Y轴向Z轴旋转42°到48°(更理想的是,46°±0.3°)范围内的角度取向。IDT具有7%到11%的标准厚度h/λ(h:电极厚度,λ:IDT电极间距)。可表示出SAW装置的更合适的基板切割角度以改善其电学特性,该SAW装置使用含有添加剂的压电基板。 | ||
搜索关键词: | 表面 声波 装置 | ||
【主权项】:
1.一种表面声波装置,包括:单晶压电基板;和交叉指状电极,由主要包含Al的材料形成并位于所述压电基板的表面上;其中,所述压电基板包含添加剂,并具有绕X轴从Y轴向Z轴旋转42°到48°范围内的角度取向;所述压电基板是钽酸锂或铌酸锂基板;以及所述添加剂包括铁、锰、铜和钛中的一种或多种。
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