[发明专利]带遮光膜基板、彩色滤光片基板及它们的制造方法以及具备带遮光膜基板的显示装置

摘要

本发明提供即使在使用具有氧化铬膜的遮光膜时也具有良好蚀刻剖面的带遮光膜基板、彩色滤光片基板及显示装置以及它们的制造方法。本发明一实施方式涉及的带遮光膜基板是具有在基板1上形成的遮光膜10图案的带遮光膜基板，遮光膜10具备含有铬氧化物的第1膜2和含有铬的设置于第1膜2上的第2膜3，遮光膜10的剖面形状具有正锥形。遮光膜10的蚀刻可以使用在硝酸铈铵中至少含有硝酸2.5摩尔/升以上浓度的药液来进行。

主权项

1.带遮光膜基板，其是具有在基板上形成的遮光膜图案的带遮光膜基板，所述遮光膜具备含有铬氧化物的第1膜、和设置于所述第1膜上的具有铬的第2膜，所述遮光膜图案的剖面形状具有正锥形。