[发明专利]分压控制系统、流量控制系统以及用于分压控制系统的喷头板有效
| 申请号： | 200610107864.9 | 申请日： | 2004-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1880504A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | 林大辅 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;B05B1/14;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种分压控制系统所使用的喷头板，由间隔部件隔开，分割成多个区域，各个区域与分压控制系统连接，对从各个区域向供给对象物排出的作用气体加以控制，其特征在于，排出作用气体的气体孔配置为正三角形，相对所述供给对象物体从中心向周围配置为六角形。 | ||
| 搜索关键词： | 控制系统 流量 以及 用于 喷头 | ||
【主权项】：
1.一种分压控制系统所使用的喷头板，由间隔部件隔开，分割成多个区域，各个区域与分压控制系统连接，对从各个区域向供给对象物排出的作用气体加以控制，其特征在于，排出作用气体的气体孔配置为正三角形，相对所述供给对象物体从中心向周围配置为六角形。
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