[发明专利]半导体结构及其制造方法

摘要

通过镶嵌方法在公共衬底上形成具有FinFET＝s和平面器件如MOSFET＝s的半导体结构的方法。利用镶嵌工艺在衬底上形成FinFET的半导体鳍片，其中鳍片生长被中断，以注入离子，随后所述注入的离子转变成将鳍片与衬底电隔离的区域。因为用于形成镶嵌－主体鳍片的掩模也用作注入离子的注入掩模，所以隔离区与鳍片自对准。在形成FinFET以及更具体地形成FinFET的栅极的处理过程中，所述鳍片可以由构图层支撑。通过使FinFET周围的衬底凹入和用介质材料至少部分地填充凹槽的自对准工艺也可以提供围绕FinFET的电隔离。

主权项

1.一种半导体结构，包括：单晶的体衬底；多个平面器件，在所述单晶的体衬底中形成；以及多个鳍片型场效应晶体管，每个与所述单晶的体衬底电隔离和与所述平面器件电隔离。