[发明专利]减压干燥装置无效
| 申请号： | 200610108485.1 | 申请日： | 2006-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN1908563A | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 五味一博 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B25/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 减压干燥装置(10)具备：具有将涂敷了液态体(L)的基板(W)放置到放置台(11)上后收容的第1室(1)和第2室(2)的减压腔(3)；可将第2室(2)设置成为减压状态的减压单元的真空泵(6)。另外，还具备在将第1室和第2室隔开的隔壁部(18)上设置的、作为连通部的连通口(19)，和可以开闭连通口的连通阀(8)。另外，具备控制真空泵的驱动及连通阀的开闭的控制部。还具备计测第1室和第2室各自的压力的真空表(4、5)。第2室的容积，设定得大于第1室的容积。能够在干燥过程中，按照液态体的种类，使涂敷的液态体的溶剂的蒸发速度最佳化，能够以溶剂的蒸气压的分布大致均匀的状态进行减压干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 干燥 装置 | ||
【主权项】：
1、一种减压干燥装置，将涂敷了包含膜形成材料的液态体的工件收容到减压腔内，使所述液态体的溶剂在减压下蒸发后干燥，其特征在于，所述减压腔，具有可以收容所述工件的第1室、和通过连通部与所述第1室连接的第2室；所述减压干燥装置，具备：减压单元，该单元设置成至少使所述第2室为可减压状态；连通阀，该阀可以开闭所述连通部；以及控制部，该部驱动所述减压单元，至少控制所述第2室的减压状态，并驱动所述连通阀，控制所述连通部的开闭状态。
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