[发明专利]基板校准装置,基板处理装置及基板搬运装置无效
| 申请号： | 200610109166.2 | 申请日： | 2003-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1916718A | 公开（公告）日： | 2007-02-21 |
| 发明（设计）人： | 立山清久;元田公男;岩崎达也 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G02F1/13;B65G49/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张天安 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的基板校准装置包括：为了基本上水平地载置支承被处理基板(G)而分散地配置在基本上水平的工作台(100)上的多个可在水平方向上位移的支承部(152)，将载置于前述支承部上的前述被处理基板在水平面内向规定的方向推压而进行定位的定位机构(102)。借助这种结构，不会对被处理基板造成伤害及擦痕，不会产生污染，可以安全并且正确、进而高效率地进行基板的对位。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 装置 处理 搬运 | ||
【主权项】：
1.一种基板校准装置，包括：为了基本上水平地载置支承被处理基板(G)而分散地配置在基本上水平的工作台(100)上的多个可在水平方向上位移的支承部(152)，将载置于前述支承部上的前述被处理基板在水平面内向规定的方向推压而进行定位的定位机构(102)。
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