[发明专利]静电型超声波换能器、其电极的制造方法、超声波扬声器

摘要

静电型超声波换能器、超声波扬声器、声音信号再现方法、超声波换能器的电极的制造方法、超声波换能器的制造方法、超指向性音响系统和显示装置。提供一种推挽型静电型超声波换能器，可在相同的驱动条件下产生较强的超声波，提高电气－音响能量的转换效率。一种静电型超声波换能器，具有形成有多个孔的第1电极(10A)；与所述第1电极成对的形成有多个孔的第2电极(10B)；振动膜(12)，具有被所述一对电极夹持的电极层(121)，向该导电层施加直流偏压；和保持所述一对电极与所述振动膜的保持部件，向所述一对电极间施加交流信号，其中，设所述一对电极各自的厚度t为大致(λ/4)·n(其中，λ为超声波的波长，n为正奇数)。

主权项

1、一种静电型超声波换能器，具有：第1电极，其形成有多个孔；第2电极，其与所述第1电极成对，形成有多个孔；振动膜，其被所述一对电极所夹持，具有导电层，该导电层被施加直流偏压；以及保持部件，其保持所述一对电极和所述振动膜，向所述一对电极间施加交流信号，其特征在于，使所述一对电极各自的厚度t为大致(λ/4)·n(其中，λ为超声波波长，n为正奇数)。