[发明专利]衬底支撑的加热和冷却有效
| 申请号： | 200610109513.1 | 申请日： | 2006-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1907897A | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 稻川真;细川明广 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了衬底支撑组件和用于控制处理室内的衬底温度的方法。该衬底支撑组件包括导热主体，其包含不锈钢材料；衬底支撑表面，其在导热主体的表面上并适用于在其上支撑大面积衬底；一个或多个加热元件，其嵌入在导热主体内；冷却板，其定位在导热主体之下；基体支撑结构，其包含不锈钢材料，定位在冷却板之下并适用于在结构上支撑导热主体；和一个或多个冷却通道，其适用于由基体支撑结构支撑并定位在冷却板与基体支撑结构之间。还提供了包含本发明的衬底支撑组件的处理室。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 支撑 热和 冷却 | ||
【主权项】：
1.一种衬底支撑组件，其适用于支撑处理室内的大面积衬底，所述衬底支撑组件包括：导热主体，其包含不锈钢材料；衬底支撑表面，其在所述导热主体的表面上并适用于在其上支撑所述大面积衬底；一个或多个加热元件，其嵌入在所述导热主体内；冷却板，其定位在所述导热主体之下；基体支撑结构，其包含不锈钢材料，定位在所述冷却板之下并适用于在结构上支撑所述导热主体；和一个或多个冷却通道，其适用于由所述基体支撑结构支撑并定位在所述冷却板与所述基体支撑结构之间。
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