[发明专利]致动器装置及其制造方法、液体喷射头以及液体喷射装置有效
| 申请号： | 200610109730.0 | 申请日： | 2006-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN1911665A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 李欣山;西胁学 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/045;B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种可以保持良好的压电体层的压电特性并且可以防止上电极剥离的致动器装置及其制造方法、以及液体喷射头和液体喷射装置。所述方法具有在基板上形成振动板的步骤以及在振动板上形成由下电极、压电体层、和上电极构成的压电元件的步骤，在形成压电元件的步骤中，通过溅射法在压电体层上形成上电极，使溅射时的温度为25～250(℃)、压力为0.4～1.5(Pa)，由此，形成厚度为30～100(nm)、应力为0.3～2.0(GPa)、且电阻率为2.0(×10－7Ω·m)以下的上电极。 | ||
| 搜索关键词： | 致动器 装置 及其 制造 方法 液体 喷射 以及 | ||
【主权项】：
1.一种致动器装置的制造方法，其特征在于，具有：在基板上形成振动板的步骤；以及在该振动板上形成由下电极、压电体层、和上电极构成的压电元件的步骤；并且，在形成所述压电元件的步骤中，通过溅射法在所述压电体层上形成所述上电极，使进行溅射时的温度为25～250(℃)、压力为0.4～1.5(Pa)，由此，形成厚度为30～100(nm)、应力为0.3～2.0(GPa)、且电阻率为2.0(×10-7Ω·m)以下的所述上电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610109730.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
