[发明专利]晶片检查系统中晶片表面的照明装置和方法无效

专利信息
申请号: 200610109744.2 申请日: 2006-08-09
公开(公告)号: CN1912453A 公开(公告)日: 2007-02-14
发明(设计)人: 禾根康普·岱特雷夫 申请(专利权)人: 比斯泰克半导体系统股份有限公司
主分类号: F21S10/06 分类号: F21S10/06;F21V7/00;H01L21/66
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 德国韦茨拉尔D-35*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 一种在晶片检查系统中对晶片表面进行照明的装置,包括用于发射第一光束的第一闪光源和用于发射第二光束的第二闪光源、重新定向光学元件以及控制构件,其中闪光源配置成向重新定向光学元件发光,控制构件交替触发闪光源,且重新定向光学元件将两条光束重新定向到晶片的相同射束路径上游中。
搜索关键词: 晶片 检查 系统 表面 照明 装置 方法
【主权项】:
1.一种在晶片检查系统中对晶片表面进行照明的装置,其特征在于其包括:第一闪光源,用于以最大频率发射第一光束;第二闪光源,用于以最大频率发射第二光束;重新定向光学元件;以及控制构件,其中前述闪光源配置成向前述重新定向光学元件发光,前述控制构件以某一频率交替触发前述闪光源,以及前述重新定向光学元件将前述两条光束重新定向到晶片的共用射束路径上游中。
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