[发明专利]用于在基底上气相沉积的设备无效
| 申请号： | 200610110077.X | 申请日： | 2006-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN1955331A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 甘特·克莱姆 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王爱华;田军锋 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在基底上气相沉积的设备。该设备包括盘和带有若干线性设置的孔的盖。在该盖的上方设有密封装置，该密封装置也包括若干开口。通过该密封装置，可以使盖的这些孔敞开或者封闭，所有的孔被同时处理。通过该密封装置，能够在极短的时间内设定不同的蒸发速率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基底 上气相 沉积 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于在基底上气相沉积的设备，该设备包括盘(2)以及在该盘(2)上方、带有若干线性设置的孔(19-22)的盖(4)，其特征在于，在该盖(4)的上方设有密封装置(7)，该密封装置(7)还包括若干线性设置的开口(10-14)。
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