[发明专利]溅射靶无效
| 申请号： | 200610110114.7 | 申请日： | 2006-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN1912176A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 日比野荣子;伊藤和典;高田美树子;大仓浩子;出口浩司 | 申请（专利权）人： | 株式会社理光 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉;贾静环 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种包括多个成分区域具有盘形式的溅射靶，该区域的每一个含有独立成分，其中各成分区域形成盘的周边部分，并且当圆周穿过至少两个成分区域时，盘的圆周上的平均成分根据圆周半径而不同。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶，包括：具有盘形式的多个成分区域，该区域每一个含有独立的成分，其中，各成分区域形成盘的周边部分，并且当圆周穿过至少两个成分区域时，盘的圆周上的平均成分根据圆周的半径而不同。
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