[发明专利]面板处理用排气推车有效
| 申请号： | 200610110909.8 | 申请日： | 2006-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN101022069A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 新谷昌德;山村正道 | 申请（专利权）人： | 中外炉工业株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/385 | 分类号： | H01J9/385;B65G1/00;B65G49/00;H01J9/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 方晓虹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种面板处理用排气推车，包括：将面板(P)多层状层叠在推车本体(10)上后进行保持的面板保持构架(20)、以及设有对进行各面板内的密封排气处理的端管(33)进行保持的排气头(34)的排气处理构件，在面板保持构架的附近配设的隔热箱(35)内设有冷却水集合导入管(37)和冷却水集合排出管(38)，在各排气头上分别连接有从冷却水集合导入管和冷却水集合排出管引出的引导管(37a、38a)，另一方面，在隔热箱外设有用于进行各面板内的排气的各排气管(36d)和对用于使端管保持在排气头上的压缩空气进行引导的各高压空气引导管(36c)。由此，可使将多层状层叠的面板导入处理炉并对各面板内进行密封排气处理的面板处理用排气推车小型化，并可减少各种成本。 | ||
| 搜索关键词： | 面板 处理 排气 推车 | ||
【主权项】：
1、一种面板处理用排气推车，包括：推车本体、在该推车本体上将所述面板层叠为多层后进行保持的面板保持构架、以及针对各面板设有对面板内的密封排气处理用的端管进行保持的排气头的排气处理构件，其特征在于，在所述面板保持构架的附近设置有隔热箱，在该隔热箱内设置有将冷却所述各排气头的冷却水导入的冷却水集合导入管和使冷却了各排气头后的冷却水返回的冷却水集合排出管，在所述各排气头上分别连接有从所述冷却水集合导入管及冷却水集合排出管引出的引导管，另一方面，在隔热箱外设有从所述各排气头通过端管来进行各面板内的排气的各排气管、以及对用于使端管保持在排气头上的压缩空气向各排气头进行引导的各高压空气引导管。
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