[发明专利]固体摄像设备

摘要

提供一种固体摄像设备，其包括用于向阱区供应参考电压的阱触点和阱配线，甚至当像素面积减小时，其也能抑制接收到光量的降低。作为阱配线，使用阱主配线4，其是利用与各个晶体管的栅极相同的材料、以与形成各个晶体管的栅极相同的工艺形成的。在像素区(PXR)中，阱配线和阱触点包括阱主配线4、直接在阱主配线4上方的第一配线层10中的阱副配线6、栅电极层9中设置的触点3和5。在第二配线层11上方的配线层中没有形成阱配线和阱触点。

主权项

1、一种固体摄像设备，包括在半导体衬底上的像素区和外围电路区，该半导体衬底具有第一导电类型的阱区，所述固体摄像设备包括：设置在所述阱区中的多个第二导电类型的光电二极管；设置在所述阱区中的多个第二导电类型的浮动扩散；在所述半导体衬底上为每个所述光电二极管设置的多个传输栅极；以及在形成所述传输栅极的同一层上形成的多个阱主配线，其中经由所述阱主配线从所述外围电路区向所述像素区内的所述阱区供应参考电压。