[发明专利]剥离聚合物的组合物无效
| 申请号： | 200610111192.9 | 申请日： | 2006-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN1916146A | 公开（公告）日： | 2007-02-21 |
| 发明（设计）人： | 佐藤真二 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/50 | 分类号： | C11D7/50;H01L21/302 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 徐迅 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了用于从基片(例如电子器件)上去除聚合材料的组合物以及使用该组合物的方法。这些组合物和方法降低了对任何下层金属表面的腐蚀，并特别适于从电子器件基片上去除聚合残留物。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离 聚合物 组合 | ||
【主权项】：
1.一种组合物，其用于从基片上去除聚合材料，所述组合物包括一种或多种多元醇化合物、一种或多种二醇醚溶剂、N-甲基吡咯烷酮以及一种或多种腐蚀抑制剂；其中所述组合物基本上不含水。
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