[发明专利]一种基于金属微纳米结构的光学分束器及其制造方法无效

专利信息
申请号: 200610111316.3 申请日: 2006-08-21
公开(公告)号: CN1975479A 公开(公告)日: 2007-06-06
发明(设计)人: 孙志军 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: G02B6/13 分类号: G02B6/13
代理公司: 厦门南强之路专利事务所 代理人: 马应森
地址: 361005福*** 国省代码: 福建;35
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种基于金属微纳米结构的光学分束器及其制造方法,涉及一种光学分束器,提供一种基于金属微纳米结构的光学分束器及制法。设有衬底,衬底上淀积金属薄膜,薄膜上设有至少2条宽度不同且平行的纳米缝隙,纳米缝隙正上方设金属柱,金属柱与金属薄膜间设支撑件。制造时在衬底上制备金属薄膜;用聚焦离子束刻蚀加工法,或在薄膜上涂电子束曝光胶后曝光,显影去掉被曝光的胶,以曝光胶为掩膜版制成纳米缝隙;在纳米缝隙上方制备金属柱:将金属柱制作为悬梁,两端设支撑件,或设在薄膜上方淀积作为支撑物的材料,在此材料上用电子束光刻与反应离子刻蚀或化学腐蚀的方法形成槽,在槽中淀积金属柱所用的材料,将支撑件材料腐蚀掉;制备支撑件。
搜索关键词: 一种 基于 金属 纳米 结构 学分 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种基于金属微纳米结构的光学分束器,其特征在于设有衬底,在衬底上淀积有一层金属薄膜,在金属薄膜上设有至少2条宽度不同且相互平行的纳米缝隙,在纳米缝隙的正上方设有金属柱,金属柱与金属薄膜之间设有支撑件。
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