[发明专利]具有多层弹性的微机电探针卡有效
| 申请号： | 200610112049.1 | 申请日： | 2006-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN101135700A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 曹育诚 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/067;G01R31/00;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李光松 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种具有多层弹性的微机电探针卡，主要包含一基板以及多个微机电探针。该些微机电探针设置于该基板的多个探测垫上，每一微机电探针包含多个第一层桥状元件、一第二层桥状元件以及一探触尖端。该些第一层桥状元件及该第二层桥状元件呈ㄇ形截面，其各自具有两墩部以及一梁部，该第二层桥状元件的该些墩部分别设置于该些第一层桥状元件的该梁部上，该探触尖端设置于该第二层桥状元件的该梁部上。由该些第一层桥状元件及该第二层桥状元件的堆叠组合，以使该探触尖端在探触晶片上的凸块或焊垫时具有较大的伸缩缓冲力及抗压性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 多层 弹性 微机 探针 | ||
【主权项】：
1.一种具有多层弹性的微机电探针卡，包含：一基板，其具有多个探测垫；以及多个微机电探针，其设置于该些探测垫上，每一微机电探针包含：多个第一层桥状元件，其中每一第一层桥状元件呈ㄇ形截面并具有两第一墩部以及一第一梁部；至少一第二层桥状元件，其呈ㄇ形截面并具有两第二墩部以及一第二梁部，该些第二墩部分别设置于该些第一层桥状元件的该些第一梁部上；以及一探触尖端，其设置于该第二层桥状元件的该第二梁部上。
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