[发明专利]一种制备光子晶体的方法无效
| 申请号： | 200610113418.9 | 申请日： | 2006-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN1936105A | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | 蓝鼎;王育人;张荫民 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | C30B7/10 | 分类号： | C30B7/10;C30B29/16;C30B29/64 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备光子晶体的方法，该方法采用LB膜方法、自组装法或者旋涂法将胶体微球组成规则排列的单层或多层胶体晶体薄膜，然后再用这种薄膜作为模板，利用水热或溶剂热的方法在半导体单晶基片上制备二维或三维光子晶体。本发明工艺过程非常简单，只需要在晶片覆盖胶体微球模板后，通过水热或溶剂热的方法，就能在基片上外延生长出所需要的微纳米结构。由于外延层是在基片的基础上生长，所以其结构和性质与基底完全相同。并且可以制备大面积的晶片，这样提高了单位成品制备效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 光子 晶体 方法 | ||
【主权项】：
1、一种制备光子晶体的方法，其特征在于，采用LB膜方法、自组装法或者旋涂法将胶体微球组成规则排列的单层或多层胶体晶体薄膜，然后再用这种薄膜作为模板，利用水热或溶剂热的方法在半导体单晶基片上制备二维或三维光子晶体。
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