[发明专利]电磁－压阻式微机械谐振梁传感器无效
| 申请号： | 200610114276.8 | 申请日： | 2006-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN1945215A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 樊尚春;邢维巍;蔡晨光 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;G01H11/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 贾玉忠;卢纪 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 电磁－压阻式微机械谐振梁传感器，两端固支单梁谐振子被置于沿其宽度方向的磁场中，其谐振频率受被测物理量控制；控制电路向谐振子表面的压阻薄膜输出交流激励电流并检测其两端电压，激励电流产生电磁力使单梁谐振子振动；压阻薄膜对谐振子一阶模态敏感，产生相应交流电阻分量；激励电流与交流电阻分量相乘得到调制的拾振信号，经低通滤波即得到反映谐振子谐振频率变化趋势的直流信号，相应调整激励信号频率，使之持续跟踪谐振子谐振频率，即可实现被测物理量的连续测量；相乘和低通滤波的组合同时实现了互相关检测，有效解决了强干扰背景下微弱拾振信号的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁 式微 机械 谐振 传感器 | ||
【主权项】：
1、电磁-压阻式微机械谐振梁传感器，其特征在于：两端固支单梁谐振子(1)被置于沿其宽度方向的磁场中，其谐振频率fr受被测物理量q控制；控制电路(2)由控制器(3)、信号源(4)和低通滤波器LPF(5)组成、控制电路(2)中的信号源(4)向单梁谐振子(1)表面的压阻薄膜(11)输出交流激励电流ie并检测其两端电压，ie产生电磁力使单梁谐振子(1)振动；压阻薄膜(11)对单梁谐振子(1)一阶模态敏感，产生相应拾振信号，即交流电阻分量rs；ie与rs相乘得到调制的拾振信号vs，经低通滤波器LPF(5)得到直流信号VS；控制电路2以激励频率fe与谐振频率fr 之差Δf＝fe-fr为控制对象，并以VS极性作为Δf极性的判据，并采用负反馈控制律调整激励频率，即ie的频率fe，使之持续跟踪fr，以实现q的连续测量。
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