[发明专利]一种测量小光斑尺寸的方法无效
| 申请号： | 200610114405.3 | 申请日： | 2006-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN101178304A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 赵德刚;杨辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B7/02;G01J1/42 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种测量小光斑尺寸的方法，采用半导体光伏探测器，根据半导体光伏探测器光电流大小与入射光强度成正比的原理，通过改变入射光在半导体光探测器边缘处移动时所导致半导体光探测器的电流响应度的变化，测量出入射光斑的尺寸大小。利用本发明，能够测量出入射光斑的尺寸大小，并且简单、可行，对于实验室相关的光学测量具有很好的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 光斑 尺寸 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测量小光斑尺寸的方法，其特征在于，该方法采用半导体光伏探测器，根据半导体光伏探测器光电流大小与入射光强度成正比的原理，通过改变入射光在半导体光探测器边缘处移动时所导致半导体光探测器的电流响应度的变化，测量出入射光斑的尺寸大小。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610114405.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
