[发明专利]减压干燥装置

摘要

本发明提供一种减压干燥装置，即使基板为大型、安全性也优异，并能抑制振动的产生，且能可靠地防止涂敷在基板上的涂敷液发生转印。该减压干燥装置具备：在侧壁部具有搬入基板的搬入口和搬出基板的搬出口，将从搬入口搬入的基板以大致水平状态收容的腔室；对搬入口和搬出口进行开关的门部件；在利用门部件关闭搬入口和搬出口的状态下，对腔室内进行减压的减压机构；大致水平地搬送基板，将其从搬入口搬入到腔室内，并且，在利用减压机构进行减压干燥处理后，大致水平地搬送该基板，将其从搬出口搬出到腔室之外的搬送机构；和在腔室内，不是局部地支撑、而是能够均匀地支撑基板的带。

主权项

1.一种减压干燥装置，用于在将涂敷液涂敷在基板上之后，在减压状态下对该涂敷液实施干燥处理，其特征在于，具备：在侧壁部具有搬入基板的搬入口和搬出基板的搬出口，将从所述搬入口搬入的基板以大致水平状态收容的腔室；对所述腔室的所述搬入口和搬出口进行开关的门部件；在由所述门部件关闭所述搬入口和搬出口的状态下，对所述腔室内进行减压的减压机构；大致水平地搬送基板，将所述基板从所述搬入口搬入到所述腔室内，并且，在利用所述减压机构进行减压干燥处理后，大致水平地搬送所述基板，将所述基板从所述搬出口搬出到所述腔室外的搬送机构；和在所述腔室内，不是局部地支撑基板、而是能够均匀地支撑基板的基板支撑部件。