[发明专利]双定子静电稳定电磁悬浮微转动陀螺无效
申请号: | 200610116291.6 | 申请日: | 2006-09-21 |
公开(公告)号: | CN1920480A | 公开(公告)日: | 2007-02-28 |
发明(设计)人: | 吴校生;陈文元 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | G01C19/24 | 分类号: | G01C19/24;G01C21/16;G01P15/125;H02K7/09;H02K17/16;H02K57/00;H02N15/02 |
代理公司: | 上海交达专利事务所 | 代理人: | 王锡麟;张宗明 |
地址: | 200240*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种双定子静电稳定电磁悬浮微转动陀螺,属于微机电系统技术领域。本发明包括:上基体、上定子、微转子、下定子、下基体、密封圈。微转子是一种导电圆环。上定子设在上基体上,并和上基体形成固定联接;下定子设在下基体上,并和下基体形成固定联接;在下基体的外缘设有密封圈,并和下基体形成固定联接;密封圈和上基体通过键合工艺形成固定联接,在上定子和下定子上,由外而内均依次分布有稳定悬浮线圈外圈、传感电极、联接线稳定悬浮线圈内圈、旋转线圈,下定子中央还设有防粘着柱。本发明中引入了静电电极结构,这种结构能增加微转子悬浮后的侧向刚度及整个微陀螺系统的抗冲击能力,推广微陀螺的应用范围。 | ||
搜索关键词: | 定子 静电 稳定 电磁 悬浮 转动 陀螺 | ||
【主权项】:
1、一种双定子静电稳定电磁悬浮微转动陀螺,包括:上基体(1)、上定子(2)、微转子(3)、下定子(4)、密封圈(5)、下基体(6),其特征在于:上定子(2)设在上基体(1)上,并和上基体(1)形成固定联接;下定子(4)设在下基体(6)上,并和下基体(6)形成固定联接;在下基体(6)的外缘设有密封圈(5),并和下基体(6)形成固定联接;密封圈(5)和上基体(1)通过键合工艺形成固定联接,微转子(3)在上定子(2)、下定子(4)磁场电磁力的作用下稳定悬浮在上基体(1)、下基体(6)和密封圈(5)形成的封闭腔体内;在上定子(2)和下定子(4)上,由外而内均依次分布有稳定悬浮线圈外圈(7)、传感电极(8)、联接线(9)、稳定悬浮线圈内圈(10)、旋转线圈(11),下定子(4)中央还设有防粘着柱(12),在下定子(4)的外缘分布有静电电极(13)。
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