[发明专利]用于投影物镜像差检测的测试标记、掩模及检测方法有效
| 申请号： | 200610116545.4 | 申请日： | 2006-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN1928722A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 马明英;王向朝;王帆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于光刻机投影物镜像差检测的测试标记、具有该测试标记的掩模以及光刻机投影物镜像差现场检测的方法。现有的投影物镜像差检测方法存在无法检测高阶像差或检测算法过于复杂等问题。本发明的用于光刻机投影物镜像差检测的测试标记，包括一正方形的内部标记和围绕该内部标记两两正交排列的四组外部标记，其中，所述的每一组外部标记由至少两种不同线宽的线条按周期密集排列形成，且所述的四组外部标记的周期相同。采用本发明的测试标记、掩模及检测方法不仅能实现低阶像差与高阶像差的同时测量，而且检测过程和算法都比较简单，同时能达到较高的像差检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 投影 物镜 检测 测试 标记 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于光刻机投影物镜像差检测的测试标记，包括一正方形的内部标记和围绕该内部标记两两正交排列的四组外部标记，其特征在于：所述的每一组外部标记由至少两种不同线宽的线条按周期密集排列形成，且所述的四组外部标记的周期相同。
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