[发明专利]试样台无效
| 申请号： | 200610116904.6 | 申请日： | 2006-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN101153855A | 公开（公告）日： | 2008-04-02 |
| 发明（设计）人： | 赖李龙 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/18 | 分类号： | G01N23/18;G01N13/10;H01J37/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种试样台，应用于聚焦离子束断面分析，包括支撑杆和载物台，所述载物台包括与所述支撑杆连接的第一载物面，其特征在于：所述载物台还至少包括一与所述第一载物面相交的第二载物面。本发明的载物台可用于聚焦离子束断面分析设备中进行倾斜断面的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 试样 | ||
【主权项】：
1.一种试样台，应用于聚焦离子束断面分析，包括支撑杆和载物台，所述载物台包括与所述支撑杆连接的第一载物面，其特征在于：所述载物台还至少包括一与所述第一载物面相交的第二载物面。
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