[发明专利]采用终点检测系统对同一种膜质进行研磨的方法有效
| 申请号： | 200610116939.X | 申请日： | 2006-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN101161414A | 公开（公告）日： | 2008-04-16 |
| 发明（设计）人： | 王海军;蔡晨;谢煊;程晓华 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/02 | 分类号： | B24B49/02;H01L21/304;H01L21/306 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王函 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用终点检测系统对同一种膜质进行研磨的方法，包括如下步骤：步骤1，产品到来之后，测量前值；步骤2，在凹凸区域用小于50rpm的低转速和小于4psi的低压力进行研磨，进行终点检测，抓到特征点后停止研磨；步骤3，用正常的转速50－120rpm和正常的压力4－8psi继续研磨，根据研磨时间研磨至后值规格。该方法能提高研磨产品的平整度，减少研磨的时间，既能提高产量又能节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 终点 检测 系统 一种 进行 研磨 方法 | ||
【主权项】：
1.一种采用终点检测系统对同一种膜质进行研磨的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1，产品到来之后，测量前值；步骤2，在凹凸区域用小于50rpm的低转速和小于4psi的低压力进行研磨，进行终点检测，抓到特征点后停止研磨；步骤3，用正常的转速50-120rpm和正常的压力4-8psi继续研磨，根据研磨时间研磨至后值规格。
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