[发明专利]置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片有效
| 申请号： | 200610117105.0 | 申请日： | 2006-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN1936626A | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | 叶振华;何力;胡晓宁;周文洪;吴俊;巫艳;丁瑞军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G01J5/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 田申荣 |
| 地址： | 20008*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片，所述的探测器芯片由衬底、衬底上依次置有的缓冲层、响应红外目标辐射的光电二极管列阵组成。所述的微型滤光片是通过分子束外延原位生长在缓冲层和光电二极管列阵之间。本发明的微型滤光片的优点是：具有高均匀性、高可靠性和无信号损失的特点；滤光波段是通过严格控制作为原位滤光层的Hg1－xCdxTe的组分来实现的，从而具很高的控制精度；这种集成在红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片无需任何外光路部件，使用方便，且非常可靠和稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 置于 碲镉汞 红外 平面 探测器 芯片 内部 微型 滤光 | ||
【主权项】：
1.一种置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片，所述的碲镉汞红外焦平面探测器芯片由衬底(1)、衬底上依次置有的缓冲层(2)、响应红外目标辐射的N型层(401)和P型层(402)构成的光电二极管(4)列阵组成；其特征在于：所述的微型滤光片是通过分子束外延原位生长在缓冲层(2)和响应红外目标辐射的光电二极管(4)列阵之间的掺杂Hg1-xCdxTe外延层，其中x为组分，微型滤光片的滤光波段与组分、掺杂浓度有关；微型滤光片的滤光波段由器件的响应波段确定；微型滤光片的厚度必须远远大于该层材料吸收系数的倒数，即1/α，α为吸收系数。
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