[发明专利]微小电容测试电路及测试方法无效
| 申请号： | 200610117835.0 | 申请日： | 2006-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN101173967A | 公开（公告）日： | 2008-05-07 |
| 发明（设计）人： | 胡晓明;徐萍 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26;G01R31/00;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾继光 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微小电容测试电路，包括待测电容C1，其一端与参考电容C2相连接，另一端与一端接地的测试输入电压Vin相连接，参考电容C2另一端接地，测试输出电压Vout在待测电容C1与参考电容C2的连接处。本发明还公开了一种微小电容测试方法，包括以下步骤：首先，测量参考电容C2的电容值；其次，在测试输入电压处加电压值Vin，测量相应的测试输出电压值Vout；第三步，计算Vout随Vin变化的斜率S；最后，计算待测电容C1电容值。本发明采用电容分压器的结构，测试微小电容的电容值，通过测试电路输出电压随输入电压的变化斜率计算待测电容值。本发明不仅能够降低测试成本，还可以提高测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 电容 测试 电路 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微小电容测试电路，其特征在于，包括待测电容(C1)，其一端与参考电容(C2)相连接，另一端与测试输入电压(Vin)相连接，测试输入电压(Vin)的另一端接地，参考电容(C2)一端与待测电容(C1)相连接，另一端接地，测试输出电压(Vout)在待测电容(C1)与参考电容(C2)的连接处。
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