[发明专利]带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法

摘要

本发明公开了一种带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法，该探测器，包括：红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和增透会聚微镜列阵。所说的增透会聚微镜列阵是由红外光敏元列阵芯片的衬底背面生长一增透膜，通过常规的等离子体组合刻蚀形成的。微镜制备方法采用了记忆焦平面探测芯片正面图形的光刻方法，获得的背向集成微透镜列阵的各个光轴在空间上与其对应的光敏像元的光敏面中心法线重合。本发明的优点是：由于增透会聚微镜中心区域的增透效果，以及周边区域的会聚作用，既能提高新一代高密度像元红外焦平面探测器的光电流信号，又能减小相邻像元之间的空间串音。

主权项

1.一种带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器，包括：红外光敏元列阵芯片(1)、读出电路(2)、混成互连铟柱(3)和增透会聚微镜列阵(4)；红外焦平面探测器由红外光敏元列阵芯片(1)通过混成互连铟柱(3)与读出电路(2)电连接构成；红外光敏元列阵芯片由衬底(101)，衬底上置有响应红外目标辐射的光敏元列阵(102)构成；在衬底上，在光敏元列阵的旁边还有原本用于与读出电路连接的至少二个对准标记(103)；其特征在于：所说的增透会聚微镜列阵(4)是置于红外光敏元列阵芯片的衬底背面，增透会聚微镜列阵中的各个微镜在空间上，分别一一垂直对应于光敏元列阵中的各个光敏元，且每一个微镜的光轴与其对应的光敏元的光敏面中心法线重合；该微镜的面形中间为平面，四周是曲率半径为30-50μm的倒角；所说的增透会聚微镜列阵由透红外光的半导体材料制成；入射红外目标辐射经微镜汇聚于光敏元的中心区域。