[发明专利]不对称精密离子抛光系统样品夹具及其应用有效
| 申请号： | 200610118508.7 | 申请日： | 2006-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN101191761A | 公开（公告）日： | 2008-06-04 |
| 发明（设计）人： | 胡建强;高强;芮志贤;王燕君 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32;G01N1/06 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种不对称精密离子抛光系统样品夹具及其应用方法，这种夹具具有不等长的样品夹臂。目前在用PIPS处理透射式电子显微镜样品时，容易出现目标结构处于减薄区域边缘较厚处，不适合TEM检查而经常需要重磨样品的问题，由于TEM样品制作非常费时，重复的操作严重影响工作效率。使用本发明提供的夹具固定样品及其应用方法在PIPS系统中减薄可以很好地避免此问题。 | ||
| 搜索关键词： | 不对称 精密 离子 抛光 系统 样品 夹具 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种不对称精密离子抛光系统样品夹具，具有如下所述的结构：位于底部的支撑轴；与支撑轴相连的样品承载平台；两个样品固定夹臂，位于样品承载平台边缘的相对位置，从所述平台向上延伸并向内弯折；其特征在于两个样品固定夹臂的长度不相等，夹臂末端之间连线的中点偏离支撑轴的轴心。
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