[发明专利]金属有机物化学气相沉积设备的反应腔体

摘要

金属有机物化学气相沉积设备的反应腔体，主要包括反应气体进气管道、反应气体缓冲腔、喷淋口、石墨舟、基座、基座支撑架、排气口和腔体外壳，所述反应气体A从反应腔体顶端接入，进入反应腔体后沿基座形成水平方向的层流扩散，反应气体B进气管道同轴包裹在反应气体A进气管道外表，伸入反应腔体后向水平方向沿伸，末端设有反应气体缓冲腔及竖直方向的喷淋口，基座安装在基座支撑架之上，排气口设置在反应腔体的底部，石墨舟嵌装在基座上。本发明的优点是缓冲腔的结构使反应气体进入反应腔后形成水平气流，减弱了竖直喷淋气流的反弹回流并减轻反应气体局部湍流，反应腔体设计具有可扩展性。

主权项

1.一种金属有机物化学气相沉积设备的反应腔体，主要包括：反应气体A进气管道(1)、反应气体B进气管道(2)、反应气体缓冲腔(3、3’)、喷淋口(4)、石墨舟(5)、基座(6)、基座支撑架(7)、排气口(8)和腔体外壳(9)，其特征在于所述反应气体A进气管道(1)从反应腔体顶端接入，基座(6)设置在其下方，反应气体B进气管道(2)同轴包裹在反应气体A进气管道(1)外表，伸入反应腔体后向水平方向沿伸，反应气体B进气管道(2)的末端设有反应气体缓冲腔(3)及竖直方向的喷淋口(4)，喷淋口(4)到基座(6)上表面反应面的距离可以根据喷淋口的喷口分布以及气体流速进行选择从而使材料生长的厚度均匀，基座(6)安装在基座支撑架(7)之上，排气口(8)设置在反应腔体的底部，石墨舟(5)嵌装在基座(6)上。