[发明专利]一种定偏移平行输出分束器有效
| 申请号： | 200610119020.6 | 申请日： | 2006-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN1996091A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 关俊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B27/20;G01B9/02;G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种定偏移平行输出分束器，至少包括一个入射面、一个出射面、一个分束面和三个反射面，所述分束面和反射面中，至少有两对面相互平行，入射光垂直于所述入射面入射。本发明可用于表面形貌测量系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏移 平行 输出 分束器 | ||
【主权项】：
1.一种定偏移平行输出分束器，至少包括一个入射面、一个出射面、一个分束面和三个反射面，所述分束面和反射面中，至少有两对面相互平行，入射光垂直于所述入射面入射。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610119020.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
