[发明专利]一种调焦调平传感装置的光学系统有效
| 申请号： | 200610119021.0 | 申请日： | 2006-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN1971426A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 关俊;李小平;李志丹;田湍;金小兵 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种调焦调平传感装置的光学系统，其包括沿光路传播方向依次设置的光源模块、照明模块、投影成像模块、探测成像模块以及探测器模块。本发明采用了反射系统，消除了宽带光的色差影响；采用了独特的阶梯反射镜使每个光斑点的像的中心处在处于理想位置的硅片的上表面上，减小了系统测量误差，提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调焦 传感 装置 光学系统 | ||
【主权项】：
1.一种调焦调平装置的光学系统，其特征在于，包括沿光路传播方向依次设置的光源模块、照明模块、投影成像模块、探测成像模块以及探测器模块。
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