[发明专利]一种化学气相传输方法生长氧化锌晶体的方法

摘要

本发明涉及一种化学气相传输方法生长氧化锌晶体的方法，属于晶体材料领域。其方法包括如下步骤：1)采用高纯ZnO密实块体作原料，以碳或石墨为催化剂，在氧化锌或外延有氮化镓(或氧化锌)单晶层的蓝宝石晶片上生长ZnO单晶；2)使用石英或金属安瓿，真空密封后加热至原料端1000－1150℃，籽晶端950－1100℃。本发明是工艺简单、成本低，可以获得高质量大尺寸氧化锌晶体，并且可以通过改变工艺条件实现对ZnO晶体尺寸、生长速度的控制。

主权项

1.一种化学气相传输方法生长氧化锌晶体的方法，其特征在于包括下述步骤：(1)将洁净的蓝宝石或氧化锌(0001)晶片放置于洁净的石英或金属安瓿底部；(2)将密实的高纯ZnO块体和催化剂碳或石墨按质量比40∶1-100∶1一起放置于石英或金属安瓿，真空密封；(3)将石英安瓿放入加热炉中，缓慢升温使原料端和籽晶端分别保持在1000-1150℃和950-1100℃间，并控制温差在10-50℃范围，反应进行1-30天；(4)反应结束后，经24小时以上缓慢降温至900℃后随炉冷却至室温；(5)取出晶体，氧气氛下退火，退火温度为800-1100℃。