[发明专利]图像传感器装置与光电元件

摘要

本发明提供一种图像传感器装置与光电元件。上述图像传感器装置，包括图像感测像素阵列设置于衬底的第一区域，以及逻辑电路设置于衬底的第二区域，其中逻辑电路包括互补型金属氧化物半导体晶体管。每个图像感测像素包括完全不具有自对准硅化物的晶体管及钉扎光电二极管。其中第二区域的CMOS晶体管上具有自对准硅化物，且第一区域的晶体管完全不具有自对准硅化物。本发明通过在图像感测像素区域的表面上完全不形成金属硅化物，由此可有效地降低暗电流，进而获得高信号－噪声比的图像传感器装置。另一方面，仅仅将金属硅化物形成于CMOS逻辑电路区域的栅极结构顶部与漏极/源极区域表面，而显著增加CMOS逻辑电路的运算速率。

主权项

1.一种图像传感器装置，包括：图像感测像素阵列，设置于衬底的第一区域，每个图像感测像素包括完全不具有自对准硅化物的晶体管及钉扎光电二极管；以及逻辑电路，包括设置于该衬底的第二区域的互补型金属氧化物半导体晶体管，其中该第二区域的该互补型金属氧化物半导体晶体管上具有自对准硅化物，且该第一区域的该晶体管完全不具有自对准硅化物。