[发明专利]飞秒激光对非晶合金的无晶化微细加工方法无效
| 申请号： | 200610125079.6 | 申请日： | 2006-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN1966203A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | 陆培祥;王新林;廖常锐;戴能利;杨光;李玉华 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B23P23/00 | 分类号： | B23P23/00;B23H7/02;B23K26/38;B23K26/42;B23K26/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 朱仁玲 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种飞秒激光对非晶合金的无晶化微细加工方法，该方法利用飞秒激光对非晶合金进行打孔、刻线、切割，打孔时飞秒激光的脉冲能量密度为50～100J/cm2，脉冲宽度45～100fs；刻线时飞秒激光的脉冲能量密度为3～15J/cm2、脉冲宽度45～100fs、扫描速度为100～200μm/s；切割时飞秒激光的脉冲能量密度为75～110J/cm2、脉冲宽度45～100fs、扫描速度为100～200μm/s。本发明的加工精度可以达亚微米级，在刻线区域无晶化现象发生。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 合金 无晶化 微细 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种飞秒激光对非晶合金的无晶化微细加工方法，其特征在于：对非晶合金进行线切割；利用飞秒激光对非晶合金打孔，飞秒激光的脉冲能量密度为50～100J/cm2，脉冲宽度45～100fs。
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