[发明专利]一种具有激光可焊性的高导热电子封装壳体的制备方法无效
申请号: | 200610125306.5 | 申请日: | 2006-12-05 |
公开(公告)号: | CN1971861A | 公开(公告)日: | 2007-05-30 |
发明(设计)人: | 张东明;张联盟;顾晓峰;杨梅君 | 申请(专利权)人: | 武汉理工大学 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人: | 唐万荣 |
地址: | 430070湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及一种电子芯片封装壳体的制备方法。一种具有激光可焊性的高导热电子封装壳体的制备方法,其特征在于它包括如下步骤:1)壳体底板的制备;2)梯度框架的制备;3)梯度框架与壳体底板的焊接;4)后处理,得产品。本发明利用脉冲电流烧结技术与线切割相结合制备梯度框架,将梯度框架与60SiC-35Al-5Si复合材料利用脉冲电流烧结设备焊接在一起形成壳体,利用机械加工进行后处理,获得所需形状的电子封装壳体。该电子封装壳体与可伐合金可进行激光焊接;本发明获得的电子封装壳体整体热导率大于180w/mk,同时解决焊接问题,制备成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 激光 可焊性 导热 电子 封装 壳体 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种具有激光可焊性的高导热电子封装壳体的制备方法,其特征在于它包括如下步骤:1)、壳体底板的制备:将平均粒径6微米的铝粉、平均粒径30微米的硅粉和平均粒径为70μm∶15μm=2∶1的碳化硅粉按照体积比35∶5∶60的比例混合,放入石墨模具中,利用脉冲电流烧结技术进行烧结;烧结温度530℃-550℃,轴向压力40MPa-50MPa,平均升温速率50℃/min,保温5分钟,获得60SiC-35Al-5Si复合材料的壳体底板;2)梯度框架的制备:按下列梯度层选取各梯度层原料:①底层组分按体积百分比为60SiC-35Al-5Si,SiC粒径大小及配比为70μm∶15μm=2∶1,烧结后的厚度为0.7mm;②第二层组分按体积百分比为55SiC-40Al-5Si,SiC粒径大小及配比为70μm∶15μm=2∶1,烧结后的厚度为0.7mm;③第三层组分按体积百分比为50SiC-45Al-5Si,SiC粒径大小及配比为70μm∶15μm=2∶1,烧结后的厚度为0.7mm;④第四层组分按体积百分比为40SiC-52.5Al-7.5Si,SiC粒径大小及配比为30μm,烧结后的厚度为0.7mm;⑤第五层组分按体积百分比为30SiC-61.25Al-8.75Si,SiC粒径大小及配比为15μm,烧结后的厚度为0.7mm;⑥第六层组分按体积百分比为20SiC-70Al-10Si,SiC粒径大小及配比为15μm,烧结后的厚度为0.7mm;⑦第七层组分按体积百分比为10SiC-78.75Al-11.25Si,SiC粒径大小及配比为15μm,烧结后的厚度为0.7mm;⑧顶层组分为6063铝合金,烧结后的厚度为1.3mm;其中铝粉平均粒径为6μm,Si粉平均粒径为28-32μm;每层粉末采用三维混料机混合6~8小时,依据层厚计算出每层应放的重量,混合好的粉料从顶层至底层依次放入石墨模具中;随后进行脉冲电流烧结,烧结温度550℃、轴向压力50MPa、平均升温速率50℃/min、保温5分钟;利用线切割将烧好后的梯度块体中心切掉,形成中部为矩形孔的梯度框架;3)、梯度框架与壳体底板的焊接:将梯度框架、铝块与壳体底板放在石墨模具中,壳体底板位于梯度框架的底层下,铝块放入梯度框架的矩形孔中,壳体底板与梯度框架和铝块接触表面铺0.5mm厚体积百分比为60SiC-35Al-5Si的混合粉,采用脉冲电流烧结工艺进行焊接,温度为530℃-540℃,压力为40MPa-50MPa,平均升温速率50℃/min;4)、后处理:用铣床将铝块体铣去,用电火花线切割加工壳体底板上的方孔及四个圆孔;四个圆孔的螺纹由精密机械加工完成;对进行化学镀镍处理,得产品。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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