[发明专利]抗蚀剂除去方法以及抗蚀剂除去装置有效
| 申请号： | 200610125701.3 | 申请日： | 2006-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN1920673A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 和田昌之 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐恕 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种抗蚀剂除去方法以及抗蚀剂除去装置，本发明的抗蚀剂除去方法中，向基板的表面供给硫酸以及双氧水，从该基板的表面除去抗蚀剂。其后，向基板的表面供给双氧水，从基板的表面排除硫酸。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 除去 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂除去方法，其特征在于，包括：硫酸双氧水供给工序，用于向基板的表面供给硫酸以及双氧水，而从该基板的表面除去抗蚀剂；双氧水供给工序，用于在上述硫酸双氧水供给工序之后，向基板的表面供给双氧水，从基板的表面排除在上述硫酸双氧水供给工序中供给的硫酸以及双氧水。
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