[发明专利]开关

摘要

本发明提供一种开关，它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第1根梁及第2根梁及第3根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极4～9，靠静电力使各梁1～3的位置变化、使梁1～3间的静电容量变化。通过使第1根梁1及第2根梁2间产生静电力，使两根梁都可动，从而梁1、2能高速地电耦合。另外，使配置在第2根梁2对面的第3根梁3产生静电力，预先靠近第1根梁1及第2根梁2，一旦第1根梁1及第2根梁间的静电力解除，第2根梁2向第3根梁3一侧移动，第1根梁1及第2根梁2的电耦合解除。

主权项

1.一种开关，其包括：设置在基板上的电极，以对所述电极能耦合和分开并随外加电压的变化其内应力发生变化的可动体作为构成要素的可动电极，在所述电极和所述可动电极间产生静电力的第1外加电压装置，以及对所述可动体施加电压的第2外加电压装置。